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2021光譜共焦的干涉測量原理及厚度測量模式
光譜共焦位移傳感器是通過彩色激光光源發(fā)射出一束高密度寬光譜光，通過色散鏡頭后，在量程范圍內(nèi)行程不同波長的單色光，每個(gè)波長對應(yīng)一個(gè)距離值，測量光射到物體表面反射回來，只有滿足共聚焦條件的光，可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計(jì)算被感測到光的焦點(diǎn)的波長，換算獲的距離值。今天由深圳立儀科技公司介紹光譜共焦的干涉測量原理及厚度測量模式： 干涉測量法基于白光干涉圖(SAWLI)的光譜分析。是光譜共焦傳感器等光...
