2021-05-17
玻璃基板的厚度可用光譜共焦測量
玻璃基板是液晶顯示器件的基本部件，這是一種極平的表面浮法來生產薄玻璃片。市場上可用的玻璃基板的主要厚度為0.7mm和0.5mm，甚至更薄(如0.4mm)的工藝正在進行中?；旧?，一個TFT-LCD面板需要使用兩個玻璃基板，分別用作底部玻璃基板和COLOR FILTER基板。
可以提供大尺寸液晶屏只有美國康寧、旭硝子等四家，雖然玻璃基板只占TFT-LCD產品成本的6% - 7%，但技術的寡頭壟斷使得玻璃基板產品成為TFT-LCD上游材料的主導零部件產品。國內虹彩、東旭等自主TFT-LCD玻璃項目應得到特別支持和鼓勵。
由于玻璃基板的厚度很薄，而且對厚度尺寸的控制非常嚴格，一般在0.01mm的公差以內，主要準確地測量玻璃厚度、翹曲和平行度。采用光譜共焦傳感器可以很好的解決這一問題。由于共焦原理，高度值和厚度值可以一次采集。此外，多個傳感器同時使用不僅提高了效率，還避免了接觸測量造成的二次損傷。
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